PRZEMYSŁOWE AKCELERATORY ELEKTRONÓW I ICH ZASTOSOWANIA W TECHNOLOGIACH RADIACYJNYCH ZASTOSOWANIE TECHNOLOGII RADIACYJNYCH DO MODYFIKACJI PRZYRZĄDÓW PÓŁPRZEWODNIKOWYCH – WDROŻENIA PRZEMYSŁOWE
Modyfikacja przyrządów półprzewodnikowych wiązką przyśpieszonych elektronów polega na skróceniu czasu życia nośników mniejszościowych. Aby uzyskać odpowiednie warunki dla tego procesu, wysokoenergetyczne elektrony wytwarzają szereg defektów w kryształach krzemu.